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PVD技術磁控濺射技術電子束蒸發DLCHIPIMSPACVDCVD

電子束蒸發
電子束蒸發法是真空蒸發鍍膜的一種方式,它是在鎢絲蒸發的基礎上發展起來的。在真空條件下利用電子束進行直接加熱蒸發材料,使蒸發材料氣化并向基板輸運,在基底上凝結形成薄膜的方法。在電子束加熱裝置中,被加熱的物質放置于水冷的坩堝中,可避免蒸發材料與坩堝壁發生反應影響薄膜的質量,因此,電子束蒸發沉積法可以制備高純薄膜,同時在同一蒸發沉積裝置中可以安置多個坩堝,實現同時或分別蒸發,沉積多種不同的物質。通過電子束蒸發,任何材料都可以被蒸發。電子束是一種高速的電子流。電子束蒸發是目前真空鍍膜技術中一種成熟且主要的鍍膜方法,它解決了電阻加熱方式中膜料與蒸鍍源材料直接接觸容易互混的問題。


Electron beam evaporation

Electron beam evaporation is a method of vacuum evaporation coating, which is developed on the basis of tungsten wire evaporation. The evaporation material is directly heated by electron beam under vacuum condition to vaporize and transport to the substrate, and then condense on the substrate to form a thin film. In the electron beam heating device, the heated material is placed in a water-cooled crucible, which can avoid the reaction between the evaporation material and the crucible wall and affect the quality of the film. Therefore, the electron beam evaporation deposition method can prepare high-purity film, and at the same time, multiple crucibles can be placed in the same evaporation deposition device to realize simultaneous or separate evaporation and deposition of a variety of different substances. Any material can be evaporated by electron beam evaporation. Electron beam is a kind of high-speed electron flow. At present, electron beam evaporation is a mature and main coating method in vacuum coating technology. It solves the problem of direct contact and easy mixing between coating material and evaporation source material in resistance heating mode.

電子束蒸發
帶有縱向光束掃描的車身
帶有噴槍的系統,以及用于較厚層的單,多口袋和大容量坩堝的全數字光束掃掠儀。
帶有坩堝轉塔系統的定制電子槍震源,用于特殊應用,并延長了震源維護之間的產品時間。


Electron beam evaporation

Body with longitudinal beam scanning

The system with spray gun and full digital beam sweeper for single, multi pocket and large capacity crucible in thick layer.

Custom gun source with crucible turret system for special applications and extended product time between source maintenance.

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離子輔助蒸發(IAD)
離子源技術可為光子學和光電子學領域的應用提供更低的工藝溫度,更短的工藝時間以及增強的薄膜性能。
優點:
電子束蒸發可以蒸發高熔點材料,比一般電阻加熱蒸發熱效率高、 束流密度大、蒸發速度快,制成的薄膜純度高、質 量好,厚度可以較準確地控制,可以廣泛應用于制備高純薄膜和導電玻璃等各種光學材料薄膜。電子束蒸發的特點是不會或很少覆蓋在目標三維結構的兩側,通常只會沉積在目標表面。這是電子束蒸發和濺射的區別。
應用:
常見于半導體科研工業領域。利用加速后的電子能量打擊材料標靶,使材料標靶蒸發升騰。最終沉積到目標上。


Ion assisted evaporation (IAD)

Ion source technology can provide lower process temperature, shorter process time and enhanced film performance for Photonics and optoelectronics applications.

advantage:

Electron beam evaporation can evaporate high melting point materials, which has higher thermal efficiency, higher beam density and faster evaporation speed than ordinary resistance heating evaporation. The prepared films have high purity, good quality, and can be controlled accurately. It can be widely used to prepare high-purity films, conductive glass and other optical materials.

The characteristic of electron beam evaporation is that it does not or rarely covers both sides of the target three-dimensional structure, and usually only deposits on the target surface. This is the difference between electron beam evaporation and sputtering.

Application:

It is commonly used in semiconductor research and industry. The accelerated electron energy is used to strike the material target and make it evaporate. Finally, it's deposited on the target.


致誠科技系列電子束蒸發光學鍍膜機采用先進電子槍蒸發、離子輔助沉積技術(IAD),提供用于精密光學,光電和半導體領域的薄膜沉積和蝕刻。
從介質膜系和金屬膜,到TCO膜及其他化合物,都可以按照客戶需求進行設計,制備具有優異的厚度均勻性以及最嚴格的光學,機械和環境可靠性能的產品。
致誠科技為您提供完整的解決方案,包括平臺上的工藝和基板治具,并具有驗證的生產可靠性,以及最佳的成本優勢。

Using advanced electron gun evaporation and ion assisted deposition (IAD) technology, Zhicheng Technology Series electron beam evaporation optical coating machine provides film deposition and etching for precision optics, optoelectronics and semiconductor fields.

From dielectric film and metal film, to TCO film and other compounds, we can design according to customers' requirements, and prepare products with excellent thickness uniformity and the strictest optical, mechanical and environmental reliability.

Zhicheng Technology provides you with complete solutions, including process and substrate fixture on the platform, with proven production reliability and the best cost advantage.

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